SF6氣體抽真空裝置采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。 同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。
本產品在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備(或鋼瓶)和連接管路進行抽真空，然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
下面讓我們一起來了解一下SF6氣體抽真空裝置的使用注意事項：
因啟動過頻會影響電機壽命，所以每小時啟動次數應盡量少于5次，每次停機時間應在3分鐘以上。
盡量避免壓縮機較長時間真空運轉，故回收時要注意觀察壓縮機進氣口壓力，當回收初壓力(M1)顯示為零表壓，達到預定值，及時停止壓縮機回收。
運轉中的油面應保持在視油鏡范圍內，即1/4-3/4位置。缺油停止運行。
?、趽Q油期
原則上為一年更換一次(約2000小時)
?、蹞Q油方法
隔斷SF6壓縮機系統，松開回油管接頭，從放油孔放油，清潔后加油至中心位置，再連接好回油管路，對SF6壓縮機抽真空，抽至100Pa以下壓縮機方可投入使用。
?、軝z修應有專門人員進行。
